FeO: D Diffusion
a.499
a.499
FeO: O Diffusion
a.500
a.500
FeSi2: Ga Diffusion
a.501
a.501
Garnet: Sm Diffusion
a.502
a.502
HfO2, ZrO2: Cl Diffusion
a.503
a.503
HfO2, ZrO2: O Diffusion
a.504
a.504
Oxygen Diffusion in Atomic Layer Deposited ZrO2 and HfO2 Thin Films on Si (100). S.Ferrari, G.Scarel: Journal of Applied Physics, 2004, 96[1], 144-9
a.505
a.505
HfO2: B, O Diffusion
a.506
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Hf(Si,O,N): As, P Diffusion
a.507
a.507
HfO2, ZrO2: Cl Diffusion
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